Co3O4-ZnO p-n异质结构低温丙酮气体传感器

• 作者: 潘国峰 王如 郑洁 韩楠
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: Co3O4-ZnO 传感器 光电响应 气敏性能 异质结
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 半导体材料
• 页码范围: 379-385,400
• 页数: 8页
• 分类号: TN304.92|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.05.010

摘要

研究了不同掺杂浓度的Co3O4-ZnO纳米复合材料的丙酮气敏特性, 并讨论了可见光照射下的光电响应及丙酮气敏响应机理.采用溶胶-凝胶法, 制备了Co3O4掺杂质量分数分别为0、2.13％、4.13％和6.13％的Co3O4-ZnO纳米复合材料, 利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪和分光光度计对其物相和表面形貌进行了表征.结果表明:掺杂Co3O4提高了ZnO厚膜的灵敏度和选择性, 在30℃的工作温度下, Co3O4掺杂质量分数为4.13％的Co3O4-ZnO样品对体积分数为10-4的丙酮的灵敏度为24.36.在可见光照射下, 光激发效果明显增强, 其灵敏度高达37.24.由Co3O4掺杂质量分数为4.13％的Co3O4-ZnO制成的传感器表现出优异的丙酮传感特性, 有望应用于低功率丙酮气体传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘国峰	河北工业大学电子信息工程学院	70	462	10.0	18.0
3	王如	河北工业大学电子信息工程学院	44	252	8.0	14.0
5	郑洁	河北工业大学电子信息工程学院	9	0	0.0	0.0
9	韩楠	河北工业大学电子信息工程学院	2	0	0.0	0.0