基于电荷驱动的多通道压电变形镜电源设计

• 作者: 喻奇志 彭泰然 李文来 马剑强
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电变形镜 迟滞 电荷 驱动电源 自适应光学
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 页码范围: 217-220
• 页数: 4页
• 分类号: TN384
• 字数: 2102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.02.015

摘要

压电变形镜具有频率响应高,变形量大,稳定性好等优点,已广泛应用于自适应光学领域,但因在电压驱动方式下压电材料迟滞特性较大,使压电变形镜的精确控制难.为降低压电变形镜的迟滞影响,设计了一种基于电荷驱动的多通道压电变形镜驱动电源,介绍了驱动电源的构成及原理,并搭建了一套基于夏克哈特曼波前传感器的自适应光学测试平台来验证驱动电源的性能.实验结果表明,该驱动电源可有效降低压电变形镜的迟滞效应,整体迟滞约1％,镜面变形的分辨率均方根误差(RMS)值约1.1 nm,能够满足在自适应光学领域对多通道压电变形镜精确控制的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马剑强	宁波大学机械工程与力学学院	20	62	5.0	7.0
2	喻奇志	宁波大学机械工程与力学学院	2	1	1.0	1.0
3	李文来	宁波大学机械工程与力学学院	6	1	1.0	1.0
4	彭泰然	宁波大学机械工程与力学学院	5	1	1.0	1.0