基于电子诱导脱附的气体解吸实验装置研究

• 作者: 刘芳 黄化岩
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 同步辐射光源 电子诱导脱附 真空材料
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 31-36
• 页数: 6页
• 分类号: TB71+6
• 字数: 3917字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.02.06

摘要

电子诱导脱附是指荷能电子轰击吸附了气体分子的材料表面,使得气体分子解吸出来的现象.在同步辐射光源、热阴极电离规和真空微电子器件等部件中,上述脱附气载是影响系统真空度和阴极寿命的主要因素.本文以日本光子工厂电子诱导脱附(KEK-ESD)装置试验数据为参考,研制了一台在150eV～1000eV电子能量范围内测量材料电子解吸系数的试验装置,并同KEK-ESD无氧铜材料试验数据进行了对比,证明本装置能有效测试材料表面的电子解吸系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄化岩	上海科技大学物质科学与技术学院	1	0	0.0	0.0
2	刘芳	上海科技大学物质科学与技术学院	1	0	0.0	0.0