PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征

• 作者: 刘世元 张传维 李伟奇 李晓平 郭春付
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 聚对苯二甲酸乙二醇酯 复合衬底 介质膜 光谱椭偏 膜厚
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 585-590
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 字数: 2699字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.04.026

摘要

为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚,采用将PET复合衬底等效为单层基底材料的建模分析方法,通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO 2梯度折射率材料薄膜厚度的检测.结果表明,采用该方法测量的PET复合衬底上TiO 2梯度折射率薄膜厚度为212.48nm,扫描电子显微镜的测量结果为211nm,结果非常准确.以TiO 2为例验证了等效衬底方法,该方法也同样适用于其它介质膜.等效衬底法可实现PET复合衬底上的TiO2薄膜厚度的高精度测量表征,对镀膜工艺过程监控具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓平	华中科技大学武汉光电国家研究中心	10	33	3.0	5.0
2	刘世元		35	363	11.0	17.0
8	郭春付		1	0	0.0	0.0
9	张传维		2	1	1.0	1.0
13	李伟奇		1	0	0.0	0.0