氢气、氢气/硅烷等离子体时间分辨光发射谱的研究

• 作者: AMANATIDES E 张发荣 张晓丹 赵颖
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体 光发射谱 微观动力学
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 发光学应用及交叉前沿
• 页码范围: 528-534
• 页数: 7页
• 分类号: O461.2
• 字数: 5563字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20194004.0528

摘要

为了加深对等离子体增强化学气相沉积的认识,采用增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了氢气及氢气/硅烷混合气体在不同气压条件下的时间分辨光发射谱,获得了辉光放电等离子体瞬态微观动力学过程的清晰图像.纯氢气辉光条件下,在一个射频周期内,Hβ时间分辨光发射谱出现了4个峰.分析表明其中两个峰是由电子冲浪效应引起,额外两个峰的出现是由瞬时阳极时刻存在额外电场所致.另外,可观察到随着气压的增大,体欧姆加热效应增强.同氢气相比,当硅烷引入后,Hβ时间分辨光发射谱由原来4个明显发射峰变成了两个明显发射峰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张发荣	天津职业大学生物与环境工程学院	1	1	1.0	1.0