液晶玻璃面板光学检测仪器气浮平台系统参数优化设计

• 作者: 周杨 张勇 徐筱波 李程伟 黄斌
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 液晶玻璃面板 气浮支承 供气方式 Fluent仿真
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 994-999
• 页数: 6页
• 分类号: TB96
• 字数: 3024字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2019.06.09

摘要

液晶玻璃平板在线检测流程当中,气膜的流场压力和速度的分布需要较高的稳定性,为了比较不同的气浮平台供气方式对气膜稳定性的影响,结合气体润滑理论,分析得出气膜稳定后的压力分布情况.通孔在气浮板上通常采用阵列排布,使用Gambit对气浮平台三维模型进行网格的划分,再将其导入软件Fluent中,对正压供气方式和正负压供气方式进行仿真计算,分析得到2种不同供气模式下气浮力的分布以及速度分布.由以上分析可得,若气浮系统中其余变量保持不变,正负压同时供气方式优势更加明显,气膜稳定后气浮力和速度分布平缓,所需气体的质量流量较正压供气方式更少.以正负压同时供气方式自制玻璃基板光学缺陷检测样机,实验结果表明气膜间隙变化量小于1 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄斌	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	24	80	5.0	8.0
2	张勇	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	105	847	13.0	25.0
3	周杨	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	8	49	4.0	7.0
4	李程伟		1	0	0.0	0.0
5	徐筱波	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	0	0.0	0.0