基于数值模拟电子级多晶硅还原 炉流动结构改进研究

• 作者: 付昊 何银凤 张胜涛 梁世民 赵丽丽
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 多晶硅 CVD反应 数值模拟 流动结构 温场优化
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 545-549
• 页数: 5页
• 分类号: O735
• 字数: 2923字
• 语种: 中文

摘要

针对现役电子级多晶硅还原炉炉内气体循环不强、硅棒桥接处沉积质量较差的问题,提出了调整喷嘴直径的优化方案,并利用建模工具建立了原有设计和优化设计的物理模型,对炉体内部的混合气体流动、硅芯电阻加热、辐射传热等进行了数值模拟计算,计算结果收敛,经后处理得到不同设计下炉体内部流速、温度及硅棒表面温度分布云图.实验表明,在其他工艺条件不变的情况下,优化设计可以提供比原有设计更高的沉积速率和致密料比例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵丽丽	哈尔滨工业大学化工与化学学院	9	271	5.0	9.0
2	张胜涛	哈尔滨工业大学化工与化学学院	2	2	1.0	1.0
3	何银凤		5	3	1.0	1.0
4	梁世民		2	2	1.0	1.0
5	付昊	哈尔滨工业大学化工与化学学院	2	2	1.0	1.0