激光辅助电化学放电加工微通道的特性

• 作者: 张朝阳 曹增辉 朱帅杰 朱浩 王瑞 赵斗艳
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 电化学放电加工(ECDM) 微通道 微细加工 玻璃
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 480-485
• 页数: 6页
• 分类号: TN249|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.06.010

摘要

玻璃材料近年来被广泛应用于微电子机械系统(MEMS),对于玻璃材料的加工,电化学放电加工(ECDM)是一种被广泛运用的手段.针对目前的电化学放电加工存在热影响区和过切现象的问题,提出了一种激光辅助电化学放电加工玻璃的加工方法,阐述了其作用机理,设计了实验装置,并与传统电化学放电加工进行了微通道加工的对比实验.通过与传统电化学放电加工对比,发现激光辅助电化学放电的加工方式能明显减少放电加工过程中的热影响区和过切现象,故激光辅助有效改善了电化学放电在玻璃材料上加工微通道的质量和精度,在MEMS领域具有良好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张朝阳	江苏大学机械工程学院激光技术研究所	31	143	7.0	10.0
2	朱浩	江苏大学机械工程学院激光技术研究所	14	27	3.0	4.0
3	曹增辉	江苏大学机械工程学院激光技术研究所	2	1	1.0	1.0
4	赵斗艳	江苏大学机械工程学院激光技术研究所	3	0	0.0	0.0
5	王瑞	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理国家重点实验室	6	23	2.0	4.0
6	朱帅杰	江苏大学机械工程学院激光技术研究所	1	0	0.0	0.0