电容式射频微机电系统开关的纳秒脉冲击穿及损伤特性

• 作者: 孟国栋 应琪 成永红 李南 王科镜 陈先龙
• 来源期刊: 现代应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式RF MEMS开关结构 纳秒脉冲 微米间隙 击穿 损伤
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 带电粒子束、等离子体和加速器
• 页码范围: 30-35
• 页数: 6页
• 分类号: TN406
• 字数: 2842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12061/j.issn.2095-6223.2019.010402

摘要

设计并制备了典型电容式射频微机电系统(RF MEMS)开关结构,利用纳秒脉冲微间隙击穿的电气测试和光学诊断系统,对上、下电极间隙宽度在45～100 μm的电容式RFMEMS开关的击穿及损伤特性进行了研究.结果 表明:上、下电极间隙宽度为45～100 μm时,典型电容式RF MEMS开关击穿属于空气-氮化硅双层介质击穿,且随着间隙增大击穿电压变化不明显;击穿点主要集中在上电极悬浮铝桥上,Al桥形貌损伤十分严重,而其他部位损伤较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成永红	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	78	1073	18.0	27.0
2	陈先龙	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	4	3	1.0	1.0
3	王科镜	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	李南	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
5	应琪	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	1	0	0.0	0.0