氧化石墨烯覆盖电极的双紫外光离子化传感器

• 作者: 周围 周琪 张思祥 张旭 李思鸣 王培贤
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 可挥发性有机物(VOC) 光离子化传感器 低浓度气体检测 氧化石墨烯(GO) 紫外灯
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 461-465,472
• 页数: 6页
• 分类号: TB383|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.06.007

摘要

对光离子传感器的结构进行了优化研究,针对光离子化传感器灯面残留物干扰问题采取了自清洁双紫外灯式传感器的新型结构,同时利用有限元法对传感器气流场进行仿真实验.通过对仿真实验的结果进行分析,对微型传感器进行了进一步的气路优化,并最终确定选择轴向流动结构的电离室.采取新型纳米材料氧化石墨烯对传感器的收集极板进行表面修饰,改善了光离子化传感器的气敏特性,提高了灵敏度.通过实验分析,详细阐述了传感器的各项性能指标,测定传感器针对甲苯的最低检测限为2.5×10-7,并对线性度响应进行了分析,线性相关系数达到了0.993,通过实验验证了双紫外传感器对整体气敏特性的提升,为可挥发性有机物(VOC)气体检测提供了理想的检测单元.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张思祥	河北工业大学机械工程学院	70	154	6.0	9.0
2	张旭	天津职业技术师范大学机械工程学院	7	7	1.0	2.0
3	周围	河北工业大学机械工程学院	45	66	4.0	6.0
4	周琪	河北工业大学机械工程学院	10	25	3.0	4.0
5	王培贤	河北工业大学机械工程学院	3	4	1.0	2.0
6	李思鸣	河北工业大学机械工程学院	3	1	1.0	1.0