用于高压ESD防护的高维持电流SCR器件

• 作者: 乔明 曹厚华 梁龙飞 肖家木 齐钊
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: ESD防护 SCR 高维持电流 闩锁效应
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TN406
• 字数: 1974字
• 语种: 中文

摘要

静电释放(ESD)是指电荷在两个电势不等的物体之间转移的物理现象,它存在于人们日常工作生活的任意环节.随着集成电路特征尺寸不断减小、集成度不断增高,芯片对ESD也变得越来越敏感.为了用尽可能小的版图面积来实现ESD防护,利用晶闸管结构(SCR)来实现集成电路的ESD防护已成为当下的研究热点.但传统SCR的维持电压和维持电流都很低,若直接将其应用于电源ESD防护则会导致严重的闩锁效应(latch-up).基于高维持电流设计窗口,提出一种可用于15V电路的抗闩锁SCR器件,并通过混合仿真验证了该器件的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔明	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	35	178	8.0	12.0
5	齐钊	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	3	1.0	1.0
6	肖家木	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
7	梁龙飞	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
8	曹厚华	电子科技大学广东电子信息工程研究院	1	2	1.0	1.0