Mg掺杂对溶胶-凝胶法生长MZO纳米薄膜性能的影响

• 作者: 端木庆铎 贲旭博
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化镁锌(MZO)纳米薄膜 溶胶-凝胶法 Mg掺杂 形貌结构 薄膜性能
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 半导材料
• 页码范围: 115-120
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.26|TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.02.007

摘要

通过溶胶-凝胶(sol-gel)法分别在石英及Si衬底上制备了含不同Mg原子数分数的氧化镁锌(MZO)纳米薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高阻测量仪研究了Mg掺杂对MZO纳米薄膜的表面形貌、结构及电学性能等方面的影响.结果表明,随着Mg原子数分数的增加,MZO薄膜的晶粒数目增加,且排列致密和均匀,表现为ZnO的六方纤锌矿结构;当Mg原子数分数增加到一定程度时,薄膜XRD的半高宽(FWHM)增大,结晶质量降低,MZO薄膜中ZnO的含量减少,晶粒尺寸变小,其电阻率明显增加且方块电阻稳定性较好;通过紫外-可见光分光度计(UV-VIS)透射率曲线测试,发现MZO薄膜在紫外光区有明显的吸收特性,随着Mg含量的增加透射率曲线发生蓝移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	端木庆铎	长春理工大学理学院	56	241	8.0	12.0
2	贲旭博	长春理工大学理学院	1	1	1.0	1.0