透射式透明薄膜厚度的在线测量

• 作者: 蒋仕龙 赵光宇 陈方涵
• 来源期刊: 华南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 透明薄膜 透射光密度 厚度测量 比尔-朗伯定律
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学与光学工程
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: O432.2|TN06
• 字数: 5172字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6054/j.jscnun.2019039

摘要

为满足工业半透明薄膜厚度在线检测的实际需求,提出了一种基于透射式光密度计量法的全场在线测量方法.该方法利用相机采集放置薄膜前后的图像灰度,将其作为入射与出射能量并计算其光密度,再通过比尔-朗伯定律建立光密度与厚度之间的关系.为减小测量误差,采用标准光密度标定板对系统进行标定,对计算的理论光密度进行偏移校正.该系统结构简单,单次测量面积可达100 mm×75 mm;以聚四氟乙烯薄膜为例进行验证,测量的平均误差为5.7％,标准偏差为6.66％,为薄膜厚度全场在线检测提供了新的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵光宇	华南师范大学华南先进光电子研究院光及电磁波研究中心	6	13	2.0	3.0
2	陈方涵		1	0	0.0	0.0
3	蒋仕龙		1	0	0.0	0.0