金刚石线切割多晶硅片的表面织构研究

• 作者: OUTHONGKHAM Mekoutan 廖华 李景天
• 来源期刊: 云南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 金刚石线锯 酸刻蚀 制绒 反射率
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 可再生能源研究
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 2941字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7699/j.ynnu.ns-2019-020

摘要

采用HNO3∶HF∶ H2O=5∶ 1∶3.4和HNO3∶HF∶ H2O=8∶ 1∶3.4两种腐蚀液体系,研究了HNO3浓度、腐蚀液温度、腐蚀时间对金刚石切割多晶硅片表面腐蚀的影响,分析了制绒后的多晶硅表面形貌与表面反射率的关系.实验结果表明:HNO3∶HF∶ H2O =5∶ 1∶ 3.4腐蚀液体系优于HNO3∶ HF∶H2O=8∶1∶3.4腐蚀液体系;在HNO3∶ HF∶H2O=5∶1∶3.4腐蚀液体系,腐蚀液温度为9℃,腐蚀时间为100 s的条件下,获得均匀的表面刻蚀纹,具有较低的表面反射率,其平均反射率低于19％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖华	云南师范大学太阳能研究所	46	298	9.0	15.0
2	李景天	云南师范大学太阳能研究所	22	126	7.0	10.0
3	OUTHONGKHAM Mekoutan	云南师范大学太阳能研究所	1	0	0.0	0.0