热蒸发沉积TiO2薄膜的光学及激光损伤特性

• 作者: 基玛·格拉索夫 徐均琪 李候俊 李绵 王建 苏俊宏
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 TiO2 光学带隙 折射率 激光损伤阈值 电场强度
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 39-44
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.01.08

摘要

采用电子束热蒸发技术,用不同沉积速率制备了TiO2薄膜.根据透射率谱计算了薄膜的光学带隙,采用椭偏法测量了薄膜的折射率、消光系数及厚度,分析了薄膜内部的电场强度分布,对其激光损伤特性进行了研究.结果表明,在所研究的工艺参数范围内,TiO2薄膜的光学带隙比较稳定,随沉积速率的变化并不显著,其值大小在3.95eV-3.97eV.当沉积速率从0.088nm/s,0.128nm/s增加到0.18nm/s时,薄膜折射率从1.9782,1.9928,升高到2.0021(波长1064nm),但当沉积速率继续增加到0.327nm/s时,折射率反而降低到1.9663,薄膜的消光系数随着沉积速率的增加单调增加.采用同一高能激光损伤薄膜后,当沉积速率较低时制备薄膜的损伤斑大小基本一致,但以0.327nm/s较高速率制备的薄膜,其损伤斑明显增大.高沉积速率下制备的TiO2薄膜的吸收较大,激光损伤阈值较低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐均琪	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	87	611	13.0	20.0
2	苏俊宏	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	111	496	12.0	16.0
3	王建	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	11	27	2.0	5.0
4	李候俊	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	6	8	2.0	2.0
5	李绵	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	7	6	1.0	2.0