铁氧体表面Cr/Ni/Ag复合薄膜制备及性能研究

• 作者: 崔骏 李洪 林松盛 石倩 蔡畅 韦春贝 黄裕坤
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铁氧体 磁控溅射 复合金属薄膜 Cr/Ni/Ag 结合强度 耐焊性
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 表面强化及功能化
• 页码范围: 125-130
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 3644字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.12.014

摘要

目的 利用真空镀膜技术对铁氧体电磁感芯表面进行金属化处理,对金属薄膜的结构及性能进行综合分析,为其实现工程应用提供一定的理论基础.方法 采用多腔一体式磁控溅射设备在铁氧体磁体表面依次沉积Cr、Ni、Ag,作为铁氧体表面复合金属薄膜.采用扫描电镜对复合薄膜表面、截面形貌进行表征;利用原子力显微镜对复合薄膜表面粗糙度进行测量;利用划格法对复合薄膜附着力进行测试;利用冲压试验对复合薄膜剥离强度进行测试;利用拉伸试验对复合薄膜结合强度进行测试;利用浸锡试验对复合薄膜耐焊性进行测试.结果 试验制备的Cr/Ni/Ag复合薄膜各层厚度分别为420、4200、550 nm,Cr层与Ni层有明显柱状晶结构,层间界面清晰、无明显孔隙,Ag层与Ni层紧密结合.复合薄膜表面粗糙度为13 nm,附着力达0B级,结合力为30 N,抗拉强度达42 MPa.复合薄膜经过450℃浸锡18s后,表面金属薄膜无脱焊或露底.结论 采用磁控溅射技术制备的Cr(420 nm)/Ni(4200 nm)/Ag(550 nm)复合金属薄膜结构致密均匀,综合性能优异,达到铁氧体电感磁芯表面金属薄膜技术要求.