数值建模在电子级多晶硅制备中的应用

• 作者: 宋东明 张健雄 赵桂洁 陈丽娟 马启坤
• 来源期刊: 云南冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 电子级多晶硅 还原炉 数值建模 还原运行曲线
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 金属材料与加工
• 页码范围: 65-69
• 页数: 5页
• 分类号: TM914.4+1
• 字数: 2690字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0308.2019.03.014

摘要

利用化工模拟软件建立还原炉数值模型,通过还原炉炉内在各种条件下的温度场、流场模拟测试,得出最佳的运行工艺参数,形成完整的还原运行曲线.经实践检验,利用模拟工具得出的运行参数有利于电子级多晶硅的制备,建模工作在电子级多晶硅的生产上取得了很好的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵桂洁		3	4	1.0	2.0
3	宋东明		2	1	1.0	1.0
5	马启坤		6	21	2.0	4.0
13	陈丽娟		1	0	0.0	0.0