柔性薄膜材料疲劳失效研究

• 作者: 李建昌 杨飞 陈博
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 失效机制 力学性能测试方法 电学参数
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 20-26
• 页数: 7页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.01.05

摘要

本文从薄膜材料的选择、失效机理、机械性能测试方法和疲劳失效对电学参数影响等方面进行了综述.分析了拉伸、弯折对薄膜微观形貌的影响,以及微裂纹的萌生、扩展以及饱和三个阶段的主要特点.总结了薄膜材料、晶粒大小、薄膜厚度对薄膜疲劳寿命的作用,进而分析对薄膜电学参数的影响.对薄膜表面、沿厚度方向和界面处疲劳裂纹的可控性进行了展望,将数学模拟与薄膜疲劳实验现象要更好的结合起来,可提高二者的符合程度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建昌	东北大学机械工程与自动化学院真空流体工程研究中心	42	214	9.0	13.0
2	陈博	东北大学机械工程与自动化学院真空流体工程研究中心	3	1	1.0	1.0
3	杨飞	东北大学机械工程与自动化学院真空流体工程研究中心	2	0	0.0	0.0