高频高压低温等离子体发生研究

• 作者: 伍远博 吴迪 周长伟 徐超 江均均 陶智 顾中浩 黄敏
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 低温等离子体 全桥移相 零电压软开关 高频谐振
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 752-758
• 页数: 7页
• 分类号: O531
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.09.02

摘要

针对传统气体放电式等离子体发生器电源效率不高、使用寿命有限等问题,提出了一种零电压软开关高频高压低温等离子体发生方法,并设计了一个高效率低损耗的高频高压低温等离子体发生系统.该系统通过移相全桥软开关控制电路提供控制信号,光耦隔离电路降低强电干扰,在零电压软开关驱动下,经高频谐振升压电路对输入信号升压,实现低温等离子体的稳定发生.实验结果表明,系统工作频率稳定在262kHz,系统能够稳定发生低温等离子体,等离子体束长可达13.1cm,系统工作稳定后,零电压软开关系统的效率为87.4％,与传统直流等离子体发生炬最高77％效率相比,提高了10.4％,实现了驱动管耗的降低和输入电源效率的提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶智	苏州大学光电科学与工程学院	80	587	13.0	21.0
2	黄敏	苏州大学光电科学与工程学院	18	79	4.0	8.0
3	吴迪	苏州大学光电科学与工程学院	46	190	8.0	13.0
4	徐超	苏州大学光电科学与工程学院	8	11	3.0	3.0
5	周长伟	苏州大学光电科学与工程学院	6	1	1.0	1.0
6	伍远博	苏州大学光电科学与工程学院	3	1	1.0	1.0
7	顾中浩	苏州大学光电科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
8	江均均	苏州大学光电科学与工程学院	4	1	1.0	1.0