基于SU-8厚胶光刻技术的爆炸箔加速膛工艺研究

• 作者: 余传杰 姚艺龙 郑国强 陶允刚
• 来源期刊: 混合微电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: SU-8光刻肢 光刻工艺 加速膛 爆炸箔
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 页码范围: 58-62
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶允刚	中国电子科技集团公司第四十三研究所	3	0	0.0	0.0
2	郑国强	中国电子科技集团公司第四十三研究所	4	0	0.0	0.0
3	姚艺龙	中国电子科技集团公司第四十三研究所	3	0	0.0	0.0
4	余传杰	中国电子科技集团公司第四十三研究所	3	0	0.0	0.0