高分辨率MEMS纤毛式湍流传感器

• 作者: 廉宇琦 张国军 张文君 杨华 王任鑫 申玮 薛晨阳
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纤毛 高分辨率 微电子机械系统(MEMS) 湍流传感器 压电
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 911-917,924
• 页数: 8页
• 分类号: TH766|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.11.007

摘要

国外的剪切流传感器已经趋于成熟,但仍存在测试信息量单薄、空间分辨率不高和价格昂贵的缺点.提出了一种新型高分辨率微电子机械系统(MEMS)湍流传感器,通过MEMS工艺的微结构实现湍流传感器的高分辨率探测,同时凭借Parylene真空气相沉积技术来实现传感器在海中的绝缘性和抗腐蚀性.经过5～45口C的高低温循环实验,验证了MEMS湍流传感器在复杂环境中的可靠性,并通过实验测量得到电压形式的湍流数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学动态测试省部共建实验室	75	334	8.0	13.0
2	薛晨阳	中北大学动态测试省部共建实验室	136	765	14.0	21.0
3	杨华	中国海洋大学信息科学与工程学院	36	290	6.0	17.0
4	王任鑫	中北大学动态测试省部共建实验室	15	13	2.0	3.0
5	廉宇琦	中北大学动态测试省部共建实验室	3	2	1.0	1.0
6	申玮	中北大学动态测试省部共建实验室	2	0	0.0	0.0
7	张文君	中北大学动态测试省部共建实验室	2	0	0.0	0.0