用于Ka波段输能窗的AlN窗片及封接技术研究

• 作者: 杨艳玲 王松 鲁燕萍
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: AlN陶瓷 输能窗 介电性能 热导率
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与工艺
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TN104.2
• 字数: 2341字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cnll-2485/tn.2019.05.11

摘要

本文研制了高导热低损耗的AlN陶瓷,制备的AlN陶瓷介电常数8.4,损耗角正切5×10-4,常温热导率为186 W/(m· K);同时研制出了热导率为192 W/(m· K)的氮化铝陶瓷.完成了AlN的陶瓷-金属封接工艺,封接件抗拉强度大于78 MPa,制备了AlN陶瓷输能窗,钎焊后的AlN陶瓷-金属封接件及输能窗检漏结果均气密,氦漏率小于1×10-11 Pa· m3/s.本文研制的AlN陶瓷及封接工艺不但满足输能窗用介质材料的性能要求,还可以应用于微波管收集极及夹持杆等方面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲁燕萍		29	217	9.0	14.0
2	杨艳玲		6	20	3.0	4.0
3	王松		5	4	1.0	2.0