高温化学腐蚀加工多孔碳化硅陶瓷的表征及机理

• 作者: 刘善勇 刘庆玉 孙树峰 王津 王玉玲 邵晶
• 来源期刊: 航空材料学报
• 关键词: SiC 高温化学腐蚀 工艺参数 腐蚀机理 粗糙度 表面形貌
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: ?
• 页码范围: 16-24
• 页数: 9页
• 分类号: TB32
• 语种: 中文

摘要

探讨高温化学腐蚀加工SiC陶瓷工艺参数对加工质量的影响，分析SiC陶瓷的腐蚀机理。分别用失重法和Archimedes法测量试样的腐蚀速率和气孔率；用XRD、SEM、粗糙度测试仪对试样表面的形貌和结构进行表征。结果表明：随着温度和KOH浓度升高，腐蚀速率加快，温度高于碱溶液沸点时，腐蚀效果显著提高；碱溶液浓度过高会造成气孔率下降，升高温度可减缓气孔率下降；在优化的工艺参数下，高温化学腐蚀能够降低样品粗糙度，最低约为1.6 μm；表面质量得到改善，轮廓支承长度率Rmr提高，Rmr（50%）达到89.70%；腐蚀温度过高或时间过长将造成晶粒脱落，导致表面质量大幅下降；此外，与机械加工试样相比，高温化学加工后的样品未出现裂纹，表面经简单清洗无反应物残留。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玉玲	青岛理工大学机械工程学院	47	124	7.0	8.0
2	孙树峰	青岛理工大学机械工程学院	19	31	4.0	4.0
3	邵晶	青岛理工大学机械工程学院	5	13	2.0	3.0
4	刘庆玉	青岛理工大学机械工程学院	7	0	0.0	0.0
5	王津	青岛理工大学机械工程学院	3	1	1.0	1.0
6	刘善勇	青岛理工大学机械工程学院	4	19	2.0	4.0