沉积温度对ZnS材料结构和红外光学性能的影响

• 作者: 吴绍华 子光平 应飞飞 王侃 缪彦美
• 来源期刊: 陶瓷学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积法 硫化锌 沉积温度
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 330-333
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 2605字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2019.03.010

摘要

采用化学气相沉积(CVD)法成功制备了红外材料硫化锌(ZnS),利用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和傅里叶红外光谱仪(FTIR)对ZnS样品的组分、相结构、表面形貌和光学性能进行表征分析.研究结果表明:沉积温度较低时,ZnS为立方结构,随着沉积温度升高,有少量六方结构ZnS生成;ZnS中原子比Zn/S大于1,Zn原子含量随沉积温度的升高逐渐减少,提高沉积温度可抑制ZnH2的生成,过高的沉积温度则降低了ZnS的光学性能;沉积温度为620℃时,ZnS表面微孔少,光学性能良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	缪彦美		1	0	0.0	0.0
2	子光平		1	0	0.0	0.0
3	应飞飞		1	0	0.0	0.0
4	王侃		3	0	0.0	0.0
5	吴绍华		5	0	0.0	0.0