离子束溅射Al2O3薄膜及其在蓝宝石窗口中的应用

• 作者: 刘青龙 张建付 朱筱群 李明伟 杨崇民 王松林 米高园
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子束溅射 Al2O3薄膜 光学窗口 环境适应性
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 902-907
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3025字
• 语种: 中文

摘要

为了研究Al2O3薄膜在蓝宝石光学窗口中的应用,采用离子束溅射技术制备了不同工艺条件下的Al2O3薄膜,根据薄膜的测试结果对薄膜的折射率和消光系数进行了拟合,分析了工艺条件对Al2O3薄膜性能的影响.在蓝宝石窗口上用ZnS和Al2O3作为高、低折射率材料,设计并制备了电视(600～900 nm)和中红外(3.4～4.8 μm)双波段高效减反射薄膜,测试结果表明,薄膜的减反射效果良好,具有较强的环境适应性,适合于作为光学窗口薄膜.而Al2O3薄膜吸潮引起的2.8～3.5 μm波段的吸收,以及蓝宝石基片在4.0 μm之后的吸收是造成透射率较低的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李明伟		5	9	2.0	3.0
2	杨崇民		15	53	3.0	6.0
3	王松林		5	11	3.0	3.0
4	米高园		7	21	3.0	4.0
5	张建付		10	24	3.0	4.0
6	刘青龙		7	21	3.0	4.0
7	朱筱群		2	2	1.0	1.0