90kW/3000A高压大功率IGBT器件功率循环测试装备研制

• 作者: 赵志斌 赵雨山 邓二平 陈杰 黄永章
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性直流输电系统 压接型IGBT器件 焊接式IGBT模块 长期运行可靠性 功率循环测试
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与设备
• 页码范围: 223-231
• 页数: 9页
• 分类号: TN322.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.03.011

摘要

随着高压大功率IGBT器件容量的进一步提升,对考核其可靠性的功率循环测试装备在测量精度、测试效率和长期运行可靠性等方面提出了挑战.针对柔性直流输电系统用高压大功率IGBT器件的测试需求,基于现有功率循环测试方法,增加了测试支路和辅助支路,提高了测试装备的测量精度和测试效率,增强了装备的长期运行可靠性,搭建了90 kW/3 000 A功率循环测试装备.针对应用于柔性直流输电的两种不同封装形式高压大功率IGBT器件——压接型IGBT器件和焊接式IGBT模块分别设计了相应的测试夹具,满足了柔性直流输电工程的需求,并基于此装备对不同封装形式和电流等级的器件进行了400多万次的功率循环测试,验证了测试装备的测试功能和长期运行可靠性.