TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极的探索研究

• 作者: 常乐 曾进能 李廷涛 李晓峰 赵伟林 赵学峰 赵恒
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 多碱阴极 TiO2减反膜 原子层沉积 Na元素渗透 钝化膜
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 微光技术
• 页码范围: 895-901
• 页数: 7页
• 分类号: O462.3
• 字数: 2410字
• 语种: 中文

摘要

在TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极,发现多碱光电阴极制作工艺无法正常进行,多碱光电阴极的颜色为暗黑色,并且阴极灵敏度非常低,而正常的多碱光电阴极应为红褐色.其中TiO2薄膜基底利用原子层沉积(ALD)工艺制备在玻璃窗上,并且具有锐钛矿晶体结构.X射线衍射仪(XRD)分析发现,制作多碱阴极后的TiO2薄膜样品锐钛矿衍射峰基本消失,另外X射线光电子能谱(XPS)分析发现该TiO2薄膜样品不同深度均存在Na元素,由此表明是Na元素渗透到TiO2薄膜中,破坏了薄膜的晶体结构,并且导致多碱光电阴极灵敏度非常低.为此提出了一种在制作多碱光电阴极之前,在TiO2薄膜上利用ALD工艺制作一层Al2O3钝化膜的方法.经过实验验证,证实该方法可以有效避免Na元素渗透到TiO2薄膜,同时多碱光电阴极制作过程可正常进行,多碱光电阴极的颜色为红褐色,阴极灵敏度超过800 μA/lm.这为将来深入研究采用TiO2薄膜作为多碱光电阴极的减反膜打下了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓峰		24	62	4.0	6.0
5	赵学峰		10	16	2.0	3.0
6	李廷涛		8	3	1.0	1.0
7	赵伟林		3	0	0.0	0.0
11	赵恒		4	2	1.0	1.0
12	曾进能		5	2	1.0	1.0
13	常乐		6	3	1.0	1.0