不同溅射功率制备的Zn0.97Co0.03O薄膜的结构和光学性质研究

• 作者: 张曰理 蒋志洁 阳生红
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: Zn0.97Co0.03O薄膜 磁控溅射 溅射功率 结构 可见光透过率 光致发光
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4|TN304
• 字数: 3688字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.01.004

摘要

采用磁控溅射法在不同射频功率下制备了Zn0.97 Co0.03 O薄膜.利用X射线衍射(XRD)、 拉曼光谱(Raman)、 紫外-可见光谱和室温光致发光谱对薄膜进行了表征.XRD和Raman结果表明,Zn0.97 Co0.03 O薄膜为六方纤锌矿结构,沿(002)晶面择优取向.随着溅射功率的增大,薄膜的(002)晶面择优取向增强,晶化程度提高,晶粒尺寸增大.不同溅射功率制备的Zn0.97 Co0.03 O薄膜均具有较高的可见光透过率.随溅射功率增加,光学带隙减小,光吸收边红移.光致发光谱表明不同溅射功率制备的Zn0.97 Co0.03 O薄膜均具有较强的带边紫外发光峰.随着溅射功率的增加,该发光峰的峰位发生红移,且峰强度增强.以上研究结果表明,溅射功率对Zn0.97 Co0.03 O薄膜的生长速率、 结晶质量及光学性能有明显影响,但不会影响薄膜的成分.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张曰理	中山大学材料科学与工程学院	27	80	4.0	8.0
2	阳生红	中山大学物理学院	19	101	5.0	9.0
3	蒋志洁	中山大学物理学院	6	9	1.0	3.0