阳极磁屏蔽对阳极层霍尔推力器内磁极刻蚀的影响

• 作者: 唐德礼 张帆 李平川 李建 桂兵仪 许丽 赵杰
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 阳极层霍尔推力器 磁屏蔽 入射离子能量 刻蚀速率
• 年，卷（期）: 2019,（21）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 226-232
• 页数: 7页
• 字数: 3105字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.68.20190654

摘要

利用PIC与溅射模拟相结合的方法,研究阳极层霍尔推力器的阳极磁屏蔽对内磁极刻蚀速率的影响.通过磁屏蔽技术,改变了阳极表面的磁场位形分布,提高了推力器磁镜场的磁镜比和中轴线上的正梯度的磁场宽度.磁镜比是原来的1.4倍,且增加了两个鞍形磁场区域.在放电电压900V,工作气压2×10-2Pa时,仿真结果表明:在阳极磁屏蔽的情况下,大部分轰击内磁极的离子能量概率分布范围在40 260 eV之间,比无屏蔽下的40-360 eV下降了将近100 eV;入射角余弦值的最大概率分布从0.1附近的小范围(入射角84°)扩展到0.1 0.45(入射角84°63°)的大范围;阳极屏蔽后的内磁极最大刻蚀速率是6.1×10-10 m/s,比无磁屏蔽时的16×10-10m/s降低了38.2％.无磁屏蔽下的仿真结果和实验结果具有很好的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建		28	65	5.0	7.0
3	唐德礼		35	180	7.0	12.0
4	赵杰		21	39	5.0	6.0
8	许丽		16	22	3.0	4.0
12	桂兵仪	成都理工大学工程技术学院	2	1	1.0	1.0
13	张帆		10	6	2.0	2.0
14	李平川		12	6	2.0	2.0