接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

• 作者: 冯亚南 李锁印 赵琳 韩志国
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 轮廓仪 探针沾污 探针缺陷 扫描位置 检查图形
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 761-765
• 页数: 5页
• 分类号: TN307
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.09.012

摘要

针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块.该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置检查图形,可实现探针针尖10个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为-150～150 μm内探针扫描位置的检查.使用探针状态检查样块对一台型号为P-6的接触式轮廓仪进行了检查,实验结果表明:该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题,进而有助于接触式轮廓仪探针的故障检查和维修.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李锁印	中国电子科技集团公司第十三研究所	27	40	3.0	5.0
2	韩志国	中国电子科技集团公司第十三研究所	20	26	3.0	4.0
3	赵琳	中国电子科技集团公司第十三研究所	20	27	3.0	3.0
4	冯亚南	中国电子科技集团公司第十三研究所	12	18	2.0	3.0