变倾角移相斜入射动态干涉仪

• 作者: 丁煜 刘致远 朱文华 郑东晖 陈磊 马云
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉测量 斜入射 动态干涉仪 表面平整度
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 38-46
• 页数: 9页
• 分类号: O436
• 字数: 2871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2019.180516

摘要

为了快速获取不平整度达数微米量级的光学表面面形分布,提出一种基于变倾角移相的斜入射动态干涉仪方案.基于迈克耳逊干涉仪主光路系统,采用2×2点光源阵列,通过精确控制各点光源在干涉腔的入射倾角,引入等间隔移相,结合透镜阵列实现空间分光,在单个CCD上同时采集四幅移相干涉图,实现动态测量.在68°斜入射角下测量了口径35 mm硅片的平整度,均方根(RMS)值为1.631μm,峰谷(PV)值为9.082μm.实验结果表明,将变倾角同步移相技术引入斜入射干涉系统,可以克服环境震动的干扰,在保证高精度的前提下拓宽了可见光干涉仪的测量范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0
2	郑东晖	南京理工大学电子工程与光电技术学院	13	13	2.0	3.0
3	朱文华	南京理工大学电子工程与光电技术学院	22	28	3.0	4.0
4	丁煜	南京理工大学电子工程与光电技术学院	5	11	2.0	3.0
5	刘致远	南京理工大学电子工程与光电技术学院	3	6	2.0	2.0
6	马云	南京理工大学先进发射协同创新中心	4	3	1.0	1.0