纯铂在塑性加工过程的微观结构演变及力学性能研究

• 作者: 王一晴 王传军 管伟明 许彦亭 谭志龙 郭俊梅 闻明 陈家林
• 来源期刊: 贵金属
• 学科: 工学
• 关键词: 纯铂 溅射靶材 冷轧 退火 择优取向 晶粒尺寸
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 11-16
• 页数: 6页
• 分类号: TG146.3+3
• 字数: 3322字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0676.2019.03.003

摘要

靶材微观组织均匀性直接影响半导体集成电路溅射薄膜质量.采用金相显微镜、X射线衍射(XRD)和显微硬度计,研究了纯铂单向冷轧及热处理过程中的微观结构演变及力学性能.结果 表明,纯铂单向冷轧时随变形量的增加晶粒沿轧向拉长,显微硬度逐渐上升;单向冷轧变形量为80％的纯铂在450℃退火发生再结晶,产生的细小等轴晶平均晶粒尺寸约为41 μm;随着退火温度升高,晶粒尺寸增大,显微硬度降低,纯铂由冷轧态(111)、(220)晶面择优取向过渡为(200)、(311)、(220)晶面择优取向.