数铣法制作LTCC复杂微腔槽

• 作者: 刘兰 岳帅旗 陈晨
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 低温共烧陶瓷 复杂微腔槽 数铣
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 微系统技术
• 页码范围: 70-71,93
• 页数: 3页
• 分类号: TN60
• 字数: 2142字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2019.02.003

摘要

针对Dupont 951和Ferro A6M的材料,对数控铣削制作复杂微小结构腔槽工艺方法进行了研究.结果 显示,该方法能够获得形状规整和边缘平滑的高质量腔槽,平面尺寸和深度精度均小于0.030 mm,可用于LTCC基板高效散热内埋微通道的制作,满足大功率微波组件对高效散热的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	岳帅旗	中国电子科技集团公司第二十九研究所	5	23	3.0	4.0
2	刘兰	中国电子科技集团公司第二十九研究所	4	5	2.0	2.0
3	陈晨	中国电子科技集团公司第二十九研究所	9	3	1.0	1.0