嵌入式薄膜热电偶测温刀具的设计

• 作者: 刘丽娟 成云平 武文革 王昕宇 马辰卉
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 切削温度 磁控溅射 薄膜热电偶
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 设计与工艺
• 页码范围: 101-104
• 页数: 4页
• 分类号: TG162.2|TH765.2+6
• 字数: 2277字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2019.02.025

摘要

设计了一种嵌入式薄膜热电偶的刀具,以实现在切削过程中对刀具瞬态温度的实时测量.以刀具的前刀面作为基底来镀制薄膜,通过磁控溅射法在刀具前刀面制备了Al2O3绝缘膜、NiCr/NiSi薄膜热电偶以及Si3N4保护膜,最终制成了可以进行切削加工并能够实时测量切削温度的刀具.文中主要介绍了电极NiCr薄膜、Al2O3绝缘膜的制作过程及一些相关性能的检测,随后利用SolidWorks和DEFORM-3D对刀具进行了三维建模和切削过程的仿真模拟,得到了刀具的温度场分布.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武文革		68	346	11.0	16.0
2	成云平		21	71	5.0	7.0
3	刘丽娟		22	128	5.0	10.0
4	马辰卉		2	2	1.0	1.0
5	王昕宇		3	2	1.0	1.0