晶体硅金刚线切割废料氮化反应的研究

• 作者: 孔剑 孙钰杰 董开朝 邢鹏飞 金星
• 来源期刊: 耐火材料
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体硅 金刚线切割废料 Si3N4 氮化反应 氮化温度 氮化时间
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 生产应用
• 页码范围: 214-216
• 页数: 3页
• 分类号: TQ175
• 字数: 2404字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1935.2019.03.013

摘要

为了综合利用晶体硅金刚线切割废料,以其为原料,使用卧式氮化炉进行氮化反应,研究了氮化温度(1 300、1 350、1 400、1 450和1 500℃)、氮化保温时间(1、1.5、2、2.5和3h)以及α-Si3 N4外加量(外加质量分数分别为0、5％、10％、15％和20％)对氮化反应的影响.结果 表明:在一定范围内,氮化温度的升高有利于α-Si3 N4 、β-Si3 N4和Si2N2O三种物相的生成;氮化时间的延长有利于α-Si3 N4、β-Si3 N4和Si2N2O三种物相的生成,但氮化时间过长会导致α-Si3N4转变为β-Si3 N4,以及Si2N2O转化为Si3 N4;以α-Si3 N4为添加剂,有利于α-Si3N4的生成以及氮化反应的进行.综合考虑切割废料的氮化程度,较优氮化条件为1 400℃保温3h,α-Si3N4添加剂外加量10％(w).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢鹏飞	东北大学冶金学院	60	156	6.0	11.0
2	董开朝	东北大学冶金学院	9	2	1.0	1.0
3	金星	东北大学冶金学院	10	9	1.0	3.0
4	孔剑	东北大学冶金学院	8	8	1.0	2.0
5	孙钰杰	东北大学冶金学院	1	0	0.0	0.0