基于LTCC技术的加速度计制造方法

• 作者: 严英占 卢会湘 唐小平
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 低温共烧陶瓷 加速度计 微机械加工 三维集成
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 封装、组装与测试
• 页码范围: 6-8,11
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 1949字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.0602

摘要

低温共烧陶瓷(LTCC)技术是实现电子设备小型化、高密度集成化的主流技术手段,可适用于耐高温、耐受恶劣环境下的特性要求.介绍了LTCC差分电容式加速度计结构,敏感质量块和4根悬臂梁结构都内嵌于LTCC多层基板,质量块和上下电容板之间通过印刷电极组成差分电容对.重点讨论了微机械式LTCC基加速度计的工艺制造方法及其面临的工艺问题,实现了多款内埋质量块结构的LTCC电容式加速度计制造.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严英占	中国电子科技集团公司第五十四研究所	15	35	4.0	5.0
2	唐小平		1	2	1.0	1.0
3	卢会湘		1	2	1.0	1.0