半导体清洗剂的现状及其替代品的研究

• 作者: 丁李超 张呈波 秦旺洋 黄兵
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体清洗 环保型 清洗剂
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 47-49
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 3351字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8909.2019.01.019

摘要

PWR-4TM系列绿色环保型半导体清洗剂,为一款非易燃、清洁力强劲的清洗剂,用于替代半导体清洗工业中常用的有毒清洗剂化学品:正溴丙烷(nPB)、三氯乙烯(TCE)、四氯乙烯(Perc)和二氯甲烷,并能快速清除半导体表面R,RMA&免洗型助焊剂残留.该清洗剂在气相清洗设备上循环上千次,产品清洗效率高及稳定性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦旺洋		2	2	1.0	1.0
2	黄兵		2	2	1.0	1.0
3	张呈波		1	0	0.0	0.0
4	丁李超		1	0	0.0	0.0