石墨烯压力传感器的设计与制作

• 作者: 刘宁 谭晓兰
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯 叉指图形 电容式传感器 聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜 压力传感器
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 720-725
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.09.007

摘要

为了降低电容式石墨烯压力传感器的成本,对石墨烯压力传感器的结构与工艺进行研究,简化加工工艺步骤,设计并制作出石墨烯传感器样片,该传感器样片的灵敏度分为多个区间,最高可达608 MPa-1.首先,将石墨烯溶液制作成纸,利用雕刻工艺将石墨烯纸雕刻成为不同规格的平行叉指图形,并用聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜覆盖制作成为石墨烯压力传感器.然后,对样片进行静态与动态性能的测试,对测试结果进行对比分析.结果 表明该传感器制作工艺简单、成本低廉、性能优良.最后论证了传感器的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭晓兰	北方工业大学机械与材料工程学院	38	251	8.0	15.0
2	刘宁	北方工业大学机械与材料工程学院	3	10	2.0	3.0