基于热模压和切削减薄工艺制备聚合物微静电驱动器

• 作者: 吴文渊 李以贵 王洁 蔡金东 金敏慧
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微驱动器 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 硅模具 热模压工艺 切削减薄工艺
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 715-719
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.09.006

摘要

为了满足运输蛋白质、细胞等微纳米级物体的需求,有必要研制聚合物微静电梳齿驱动系统.与硅静电梳齿驱动器相比,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)静电梳齿驱动器具有成本低、成品率高、驱动电压低和能耗少等优点.首先通过微细加工工艺,制备硅静电梳齿驱动器模具.基于硅模具,利用热模压工艺制备PMMA微驱动器,再通过机械切削工艺释放制备好的PMMA微驱动器结构,得到带基底的PMMA微静电梳齿驱动器,最后通过切削减薄工艺,释放静电梳齿微结构,得到可动的PMMA微静电梳齿驱动器.驱动结果表明,PMMA微静电梳齿驱动器制备工艺具有可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王洁	上海应用技术大学理学院	4	0	0.0	0.0
2	吴文渊	上海应用技术大学理学院	8	8	2.0	2.0
3	李以贵	上海应用技术大学理学院	24	34	4.0	4.0
4	金敏慧	上海应用技术大学理学院	3	0	0.0	0.0
5	蔡金东	上海应用技术大学机械工程学院	8	12	2.0	3.0