基于阶梯掩膜腐蚀的圆柱壳体振动陀螺谐振子的亚表面残余应力测试与分析

• 作者: 吴学忠 吴宇列 席翔 张勇猛 曲洛振
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振子 亚表面残余应力 阶梯掩膜化学腐蚀
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 190-194,200
• 页数: 6页
• 分类号: TH142.2
• 字数: 2924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2019.02.006

摘要

圆柱壳体振动陀螺是一种具有较高精度的金属振动陀螺.陀螺谐振子表面经过加工后会留下残余应力,对其性能影响较大.但目前国内外对圆柱壳体振动陀螺的表面和亚表面应力情况还缺乏深入的研究.针对圆柱壳体振动陀螺振动器件谐振子的几何结构和加工工艺特点进行研究,建立了谐振子切削加工的仿真模型,仿真分析了谐振子的亚表面残余应力的分布规律.并提出一种阶梯掩膜化学腐蚀的方法,对亚表面残余应力进行测试和分析,获得谐振子亚表面应力的分布规律,对实现谐振子的低应力制造和降低残余应力对圆柱壳体振动陀螺零偏稳定性的影响具有较好的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学智能科学学院	70	934	18.0	28.0
2	吴宇列	国防科技大学智能科学学院	37	318	9.0	16.0
3	席翔	国防科技大学智能科学学院	4	7	2.0	2.0
4	张勇猛	国防科技大学智能科学学院	5	1	1.0	1.0