α-Al2O3单晶活化Mo-Mn法金属化的改进

• 作者: 冯佳伦 周兰芬 黄亦工
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: α-Al2O3单晶 金属 化封接强度
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 67-72
• 页数: 6页
• 分类号: TB756
• 字数: 2898字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.03.16

摘要

采用活化Mo-Mn法对α-Al2O3单晶进行了金属化,Mo-Mn层表面容易出现玻璃相,影响Mo-Mn层电镀及焊接效果.通过对α-Al2O3单晶金属化后Mo-Mn层玻璃相的成分分析,找出Mo-Mn层与α-Al2O3单晶的粘接机理,从玻璃相中析出刚玉是关键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄亦工		16	42	4.0	5.0
2	冯佳伦		6	9	2.0	3.0
3	周兰芬		3	0	0.0	0.0