电子级多晶硅生产关键工艺控制

• 作者: 张健雄 赵桂洁 马启坤
• 来源期刊: 云南冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 电子级 多晶硅 生产工艺
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 金属材料与加工
• 页码范围: 76-78
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.4+1
• 字数: 3451字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0308.2019.04.020

摘要

围绕生产电子级多晶硅关键工艺控制各环节,研究了如何生产出高品质电子级多晶硅产品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵桂洁		3	4	1.0	2.0
3	张健雄		2	0	0.0	0.0
4	马启坤		6	21	2.0	4.0