退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响

• 作者: 何世堂 刘久玲 刘明华 安燕 王剑
• 来源期刊: 应用声学
• 学科: 物理学
• 关键词: 声表面波 粗糙度 退火温度 传感器
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 129-133
• 页数: 5页
• 分类号: O429
• 字数: 2448字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11684/j.issn.1000-310X.2019.01.017

摘要

该文实验研究了退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响.电极表面的粗糙度随着退火温度不同而变化,实验中分别选择常温(25 ?C)、200 ?C和300 ?C作为退火温度对两种镀膜方式制备的声表面波器件进行退火,最后得到退火温度和电极表面粗糙度的对应关系.从实验结果来看,退火温度为200 ?C时,得到的电极表面粗糙度最大.该研究为声表面波检测器表面粗糙度优化及灵敏度提升提供了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何世堂	中国科学院声学研究所	74	236	8.0	12.0
2	刘久玲	中国科学院声学研究所	19	75	4.0	8.0
3	刘明华	中国科学院声学研究所	16	84	6.0	9.0
4	王剑		5	60	3.0	5.0
5	安燕	中国科学院声学研究所	1	0	0.0	0.0