矩形波导转微波谐振腔同轴天线的仿真设计

• 作者: 刘甫坤 单家芳 吴大俊 贾华 赵连敏 闫新胜
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 波导转换 HFSS仿真模拟 反射系数
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 理论与设计
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: TN812|TN814
• 字数: 1597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.03.13

摘要

矩形波导转谐振腔同轴天线是微波等离子体镀膜系统的重要组件之一.借助仿真模拟软件,以中心频率915 MHz仿真设计了两种矩形波导同轴天线转换器.其一是垂直结构,同轴天线与矩形波导垂直相交;其二是相切弧结构,同轴天线内导体以相切的弧线向矩形波导过渡.仿真分析了两种结构的适用范围.分析表明,加销钉的垂直结构在100 MHz带宽范围内,反射系数小于-10 dB,同轴内导体的直径需不大于波导宽度的1/10;优化后的相切弧结构在100 MHz带宽范围内,反射系数小于-10 dB,同轴内导体直径需不小于波导宽度的1/4.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾华	中国科学院等离子体物理研究所	10	19	2.0	4.0
2	刘甫坤	中国科学院等离子体物理研究所	23	60	4.0	6.0
3	赵连敏	中国科学院等离子体物理研究所	7	9	2.0	2.0
4	单家芳	中国科学院等离子体物理研究所	10	60	3.0	7.0
5	吴大俊	中国科学院等离子体物理研究所	3	3	1.0	1.0
6	闫新胜	中国科学院等离子体物理研究所	2	1	1.0	1.0