一种高精度EBSD花样的标定校正方法

• 作者: 张永胜 徐敬超 房尚强 曾毅 李伟 缪泓
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 物理学
• 关键词: EBSD系统 强弱边界 标定校正 菊池极中心点
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 935-944
• 页数: 10页
• 分类号: O348.1
• 字数: 4235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7520/1001-4888-19-302

摘要

电子背散射衍射(Electron Backscattered Diffraction,简称EBSD)系统作为一个安装在扫描电镜上的重要附件,可以获得晶粒尺寸、相组成、取向以及织构等微观信息,其核心环节是从衍射花样中获得相应晶体信息,这依赖于系统的花样标定算法.现有商用EBSD系统标定算法基于Hough变换实现衍射花样标定,其角度误差在10％左右.为提高标定精度,本文提出了一种高精度EBSD花样的标定校正方法:先基于梯度分析获得菊池带的强弱边界位置,再利用菊池极的旋转对称性特征对弱边界位置进行校正,完成整个标定校正过程.实验验证阶段,本文对单晶硅标准样品进行分析,基于梯度分析得到菊池带的强弱边界位置,与理论值作对比得出角度误差在2％～8％,比商用算法已有较大提升;再经弱边界校正,完成标定宽度的校正.与之前相比,校正后的标定算法能够不同程度地减少10％～90％的宽度标定误差,验证了本文所提出方法的可行性和可靠性.