半球谐振陀螺用石英玻璃性能及湿法刻蚀特性

• 作者: 孙元成 宋学富 张晓强 杜秀蓉 花宁
• 来源期刊: 导航定位与授时
• 学科: 工学
• 关键词: 熔融石英玻璃 湿法刻蚀 半球谐振陀螺
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 半球谐振陀螺技术专栏
• 页码范围: 27-32
• 页数: 6页
• 分类号: TB321
• 字数: 4133字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19306/j.cnki.2095-8110.2019.06.005

摘要

熔融石英玻璃是半球谐振陀螺的关键核心材料.针对半球谐振陀螺用石英玻璃及湿法刻蚀减薄工序,分析了石英玻璃种类、性能指标差异,研究了熔融石英玻璃湿法刻蚀过程表面缺陷及形态变化.结果表明,熔石英玻璃机械加工残留的亚表面缺陷在湿法刻蚀过程中会发生形态和大小变化,对熔融石英玻璃的均匀刻蚀影响较大.基于上述研究结果,给出了半球谐振陀螺的选材和球壳湿法刻蚀减薄工艺参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙元成		10	30	3.0	5.0
2	花宁		5	1	1.0	1.0
3	宋学富		9	4	1.0	2.0
4	张晓强		5	3	1.0	1.0
5	杜秀蓉		4	3	1.0	1.0