软X射线掠入射望远镜的成像质量评价

• 作者: 何玲平 刘鹏 张亚超 王孝东 陈波
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线光学 掠入射望远镜 像质评价 表面散射 面形误差
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2136-2143
• 页数: 8页
• 分类号: O434.19
• 字数: 3900字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192710.2136

摘要

为了评价软X射线掠入射望远镜的成像质量,提出了一种利用ZEMAX和MATLAB相结合的像质评价方法.根据这种方法编写的像质评价程序不仅考虑了孔径衍射、几何像差和装调误差等因素对成像质量的影响,而且加入了望远镜面形误差和X射线散射效应的影响.利用勒让德-傅里叶多项式和用户自定义表面,在ZEM AX中建立带有面形误差的筒状反射镜表面模型,实现对真实面形的掠入射反射镜的仿真;根据Harvey-Shack散射理论建立了ZEMAX中的BSDF散射模型,实现对X射线散射的仿真.搭建X射线有限远成像实验装置,对像质评价程序进行了验证.实验结果和仿真结果对比表明:实验光斑和仿真光斑的光强分布基本一致,以实验结果为基准,仿真光斑的半高全宽横向和纵向的相对误差分别为14.7％和11.3％.说明像质评价程序的仿真结果基本符合真实情况,对掠入射光学系统的设计和加工具有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	167	1116	17.0	24.0
2	刘鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	144	1144	19.0	27.0
6	何玲平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	51	4.0	7.0
7	张亚超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	8	1.0	2.0
11	王孝东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	6	1.0	2.0