大面积液浮平面电极稳定性分析

• 作者: 周平 郭东明 郭民政 闫英
• 来源期刊: 现代机械
• 学科: 工学
• 关键词: 电致化学抛光 液浮平面电极 COMSOL 法向刚度 倾覆力矩
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 现代制造、工艺装备
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 分类号: TH133
• 字数: 2663字
• 语种: 中文

摘要

电致化学抛光是一种超光滑超平整表面的无应力加工方法,加工工具是大面积液浮平面电极,其稳定性是影响加工质量的最关键因素.研究电极稳定性对于提高加工质量具有重要意义.基于静压支撑原理,设计了电板结构,采用COMSOL仿真研究了液压腔数目,倾斜方向对电极法向刚度和倾覆力矩的影响.结果 显示法向刚度大小与液压腔数目成正相关,增加液压腔数目可以有效提高电极抗倾覆能力和弱化其异向性,表明了增加液压腔数目可以有效提高电极稳定性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭东明	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	273	4547	35.0	54.0
2	周平	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	38	260	9.0	15.0
3	闫英	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	5	1	1.0	1.0
4	郭民政	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0