一种用于称重的矩形微通道式微悬臂梁

• 作者: 蒋纬涵 郝秀春
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂梁 矩形微通道 微粒子 集中载荷 弯曲挠度
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 806-810
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.10.006

摘要

矩形微通道式微悬臂梁传感器可用于检测单个微粒子或细胞的质量,在生物和化学等领域具有非常广泛的应用前景.设计了一种含有矩形微通道的微悬臂梁结构,建立了单个微粒子等效的集中载荷在微悬臂梁中矩形微通道的任意位置时弯曲挠度的理论模型,分析了静态工作模式下的弯曲挠度变化以及研究了单个微粒子的质量及位置对微悬臂梁的弯曲挠度的影响,并用COM SOL Multiphysics仿真软件对矩形微通道式微悬臂梁的弯曲变形进行仿真计算,弯曲挠度的仿真结果与理论计算结果相对误差为1.2％.实验验证了在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微粒子的作用下,微悬臂梁的最大弯曲挠度为2.741 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝秀春	江苏大学机械工程学院	4	3	1.0	1.0
2	蒋纬涵	江苏大学机械工程学院	2	0	0.0	0.0