提高钯–银合金薄膜附着力的研究

• 作者: 符萌媛 耿志挺 胡昕宇
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 工学
• 关键词: 钯–银合金薄膜 附着力 传感器
• 年，卷（期）: clkx_2019,（8）
• 页码范围: 774-779
• 页数: 6页
• 分类号: TB3

摘要

钯及其合金膜在基体上的附着力是影响气敏薄膜稳定性和寿命的一个重要因素。对于钯–银合金薄膜传感器,其使用寿命直接受到附着性能好坏的影响。本文先利用磁控溅射在陶瓷基体上生长一层Ta2O5过渡层,然后再在其上沉积钯–银合金薄膜,有效地增强了钯–银合金薄膜与基底结合的牢固性,提高了传感器的使用寿命。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	耿志挺	清华大学材料学院	25	515	10.0	22.0
2	胡昕宇	清华大学材料学院	2	0	0.0	0.0
3	符萌媛	清华大学材料学院	1	0	0.0	0.0